엑셀리스, 평택 이온주입 장비 생산능력 확장 추진

미국의 반도체 장비 기업 엑셀리스 테크놀로지가 이온주입 장비 생산능력을 확대하고 국내 소부장 기업과 협력 강화 및 전문인력 양성에 나선다.

엑셀리스 테크놀로지(Axcelis Technologies)는 20일 경기도 평택시 오성 산업단지 부지에서 ‘엑셀리스 아시아 오퍼레이션 센터(AAOC)’ 증설 착공식을 개최했다고 밝혔다.

이날 착공식에는 러셀 로(Russell Low) 엑셀리스 테크놀로지 대표, 박영근 엑셀리스코리아 대표와 산업통상부 강감찬 무역투자실장, 추미애 경기도지사, 최원용 평택시장 등 정부 인사를 비롯해, 국내 수요기업 및 협력 기업 관계자 등 60여 명이 참석했다.

엑셀리스는 반도체 공정 중 반도체 내부에 전기가 흐르는 정도를 조절하기 위해 초미세 입자를 주입하는 이온주입 분야에서 세계적인 경쟁력을 가진 기업이다. 한국에서는 2021년 설립된 AAOC를 통해 삼성전자, SK하이닉스 등 국내 수요기업에 이온주입 장비를 공급하고 중국, 일본, 싱가포르 등 아시아 태평양 지역 국가에도 직접 수출해왔다.

이번 AAOC 증설은 올해 9월 G20 혁신장관회의 계기 미국에서 산업통상부 장관 주재로 개최된 투자신고식에서 발표했던 투자 계획을 이행한 것이다. AAOC는 엑셀리스의 유일한 해외 제조 거점으로, 이번 투자를 통해 이온주입 장비의 연간 생산능력을 대폭 확대함으로써 국내 반도체 산업 공급망 강화에 기여할 것으로 기대된다.

엑셀리스는 AAOC를 생산 거점 중심에서 향후 R&D, 시제품 생산, 기술교육 등 기능을 포괄하는 종합 거점으로 구축해 아시아·태평양 지역의 핵심 허브로 키워나갈 계획이다. 이를 통해 국내외 기업의 장비 수요에 보다 신속하고 안정적으로 대응하고, 국내 소부장 기업과의 협력 확대와 기술교육을 통한 전문인력 양성에도 기여할 것으로 전망된다.

강감찬 무역투자실장은 축사를 통해 “AAOC의 증설을 통해 한국의 반도체 공급망을 더욱 튼튼하게 하고, 엑셀리스의 사업도 한 단계 더 발전하는 계기가 되기를 기대한다”며 “한국 정부도 경기도, 평택시와 긴밀히 협력해 현장의 애로를 살피고, 투자가 원활히 진행되도록 뒷받침하겠다”고 강조했다.